無(wú)塵潔凈室內(nèi)潔凈度主要因素-塵埃粒子計(jì)數(shù)器

    無(wú)塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室規(guī)劃中遭到關(guān)注的問(wèn)題，跟著潔凈室污染源的操控作用添加及末級(jí)過(guò)濾器功率的提高，對(duì)有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的引薦或參考值是否偏于保存，已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞修理等問(wèn)題已在實(shí)踐中得到解決，跟著FFU的不斷改進(jìn)，對(duì)是否選用FFU回風(fēng)體系也是個(gè)熱門：懸浮分子污染(AMC)的操控在微電子及IC工業(yè)中已日益說(shuō)到日程上來(lái)，遭到關(guān)注。以下對(duì)這些問(wèn)題的狀況分別作概括和剖析。

無(wú)塵潔凈室內(nèi)必定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用處等具體狀況而異，它不只受室內(nèi)發(fā)塵量及過(guò)濾器功率還受其他要素影響，就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及挑選氣流速度的要素主要是：

(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工自身等都是塵粒開釋源，根據(jù)具體狀況而異，改變很大;

(2)室內(nèi)氣流流型及分布：?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆?、?duì)等的流線，但會(huì)遭到工藝設(shè)備安置和方位變化及人員活動(dòng)狀況等的干擾構(gòu)成部分渦流;而非單向流要求充混合，防止溫度分層。